Микроэлектромеханические системы и элементы

В четырех тематических главах книги рассматриваются измерительные и силовые электронные датчики в современном исполнении микроэлектромеханических систем (МЭМС). В соответствии с вызовами времени упор в книге сделан на импортозамещение электронных компонентов. Благодаря им система навигационных спутников третьего поколения позволяет определять координаты объектов на поверхности Земли с точностью до единиц сантиметров. В книге даны справочные данные, а также показаны инновационные инженерные разработки новых датчиков.
Для специалистов отрасли и широкого круга читателей.